PROLİT - PROLITH

PROLİT (kısaltılmıştır Parsız Resist Öptik LITHografi) bir bilgisayar simülatörü modellemek optik ve kimyasal yönleri fotolitografi. Chris Mack fotolitografi alanında çalışmaya başladıktan sonra PROLITH'i geliştirmeye başladı. NSA 1983'te.

PROLITH ilk olarak bir IBM PC. Yazılım tarafından uygulanan modeller, Rick Dill -de IBM ve Andy Neureuther -de Kaliforniya Üniversitesi, Berkeley Chris Mack'in kendi katkılarıyla birlikte Mack modeli.

Başlangıçta PROLITH ücretsiz olarak verilirken, NSA Chris Mack'in maaşını ödüyordu.[1][2] 1990 yılında PROLITH'i ticarileştirmek için FINLE Technologies'i kurdu. Yazılımın PROLITH / 2 adlı ilk ticari versiyonu o yılın Haziran ayında piyasaya sürüldü. PROLITH kullanımı daha kolay hale getirildi ve litografi simülasyonunun daha birçok yönünü içerecek şekilde büyüdü.

FINLE Technologies, Şubat 2000'de KLA-Tencor, şimdi PROLITH pazarlıyor.

Referanslar

  1. ^ "30 Yıllık Litografi Simülasyonu - Chris Mack'in litografi simülasyonu ve PROLITH'teki ilerlemeyi anlatması" (PDF).
  2. ^ "Chris Mack'in özgeçmişi".

Dış bağlantılar